薄膜沉积

薄膜沉积
MFA,KFKI校园,建筑物26。
联系人:györgyRadnóczi,radnoczi.gyorgy @ energgia.mta.hu

DC溅射

DC溅射单元

研究领域:必威体育官网平台
- 金属和合金膜和纳米颗粒的生长
- 涂料的生长(例如碳 - 金属纳米复合材料)
- 氮化物和氧化物的反应性溅射和生长(锡Aln,AlnXoy)涂料

背景真空:向下(2-3)×10-8MBAR
溅射压力:〜2×10-3MBAR
两个2英寸AJA DC磁控磁子针对一个焦点
负载锁系统
带有加热阶段的旋转基板支架